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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 추계학술대회 논문집
발행연도
2005.10
수록면
31 - 36 (6page)

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2006

집속이온빔장치에서의 이온빔축 얼라인먼트
박철우 ,  이종항 ,  강승언 대한기계학회 논문집 A권 2006.09 학술저널

2005

집속이온빔 가공장치의 이온컬럼부 얼라인먼트
박철우 ,  최진형 ,  이종항 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료

초록· 키워드

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This paper describes an alignment method of the ion column which is used for a focused-ion-beam machining system. The alignment parameters for mechanical and electrical components are introduced, and also sample images are used for evaluating the experiments. The experimental results show that geometrical positions of mechanical components have an influence on the quality of emitted ion beam. In addition, we can successfully align the traveling axis of ions by using mechanical and electrical methods.
#Focused Ion Beam(집속이온빔) #Ion Column(이온컬럼) #Alignment(얼라인먼트) #Performance Test(성능시험)

목차

Abstract
1. 서론
2. 기초이론
3. 실험장치 및 실험방법
4. 실험결과
5. 결론
후기
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