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김창조 (아텍시스템) 이재승 최윤 최은하 박철우 (한국산업기술대학교) 김종국 김영권 (FTLab) 엄창용 (컨벡스)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 생산 및 설계공학부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.6
수록면
13 - 17 (5page)

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Focused ion beam system was designed, which includes LMIS, electrostatic lens and high voltage power supply. Control program is updated for high speed image processing. The details of vibration-free vacuum system and other important electrical parts were trouble-shooted for appropriately controlling high acceleration voltages.
#FIB(집속이온빔) #electro static lens(정전렌즈) #deceleration mode(감속모드) #LMIS(액체 금속 이온원) #chromatic aberration(색수차)

목차

Abstract
1. 서론
2. 이온빔의 집속
3. 실험진행
4. 실험 결과 및 논의
5. 결론
참고문헌

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