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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 춘계학술대회 논문집
발행연도
2005.5
수록면
30 - 34 (5page)

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This paper describes the design and manufacturing of a focused-ion-beam machining system which can make small features of nano size. We use a SIMION simulator in order to obtain the design data of an ion column. The simulation result shows that the focal length of ion beam decreases as the applied voltage of object lens increases. Finally, we obtained the good images of a mesh of 50 micrometers by using the adjustment of applied voltage, acceleration power, and dimension of each elements.
#Focused ion beam #Machine design #Liquid Metal Ion Source #Electrostatic lens #SIMION simulator #Image

목차

Abstract
1. 서론
2. 집속이온빔 가공장치의 설계 및 조립
3. 실험장치 및 실험 방법
4. 실험결과
5. 결론
후기
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