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이용수
1. 서론
2. 인자와 응답 설정
3. 시뮬레이션 및 결과 분석
4. 결론
후기
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
다중 이온법 장비를 위한 정전 렌즈 집속 광학계 설계
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2008 .06
미세 패턴 가공을 위한 다중이온빔 장비의 설계 및 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .06
다중이온빔 광학계의 조립오차에 의한 가공 정밀도 평가
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2009 .10
다중이온빔 가공 시스템의 가공균일성 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
집속이온빔을 가공 시스템 설계 및 제작
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2005 .05
이온빔 조사 경로에 따른 집속이온빔 가공공정의 효율평가
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2011 .06
다개구 이온빔 가공장치용 냉음극 방식의 가스 이온원의 가능성 평가에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2011 .03
다중빔 리소그래피를 위한 초소형 컬럼의 전자빔 광학 해석에 관한 연구
반도체및디스플레이장비학회지
2009 .01
다중짐 방식의 이온 가공장비의 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
Design of voltage source for electrostatic column array
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .09
단면 가공용 이온 밀링 장치의 이온 빔 크기 측정 방법 연구
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2013 .05
MODERN ELECTROSTATICS FOR HIGH-TECHNOLOGIES
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .11
다구찌법을 이용한 O-링의 최적설계 및 수치적 연구
Tribology and Lubricants
2004 .10
SIMION 시뮬레이터를 이용한 정전렌즈의 빔 집속 성능
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2009 .04
집속이온빔장치에서의 이온빔축 얼라인먼트
대한기계학회 논문집 A권
2006 .09
집속이온빔 가공경로 변화에 따른 정밀도 향상에 대한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2013 .04
다구찌법을 이용한 최적설계 알로리듬의 개발 및 구현 ( Development of an Optimization Algorithm based on the Taguchi method )
대한기계학회 춘추학술대회
2001 .01
이온빔 기술 리뷰
한국추진공학회 학술대회논문집
2011 .11
γ계수 측정용 Ion-beam 장치의 시작 및 그 특성에 관한 연구
전기학회논문지
1998 .09
고수율 집속 이온빔 장치를 위한 ICP 이온원의 빔 인출 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
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