Plasma Etching of SiO₂ Using Remote-type Pin-To Plate Dielectric Barrier Discharge

Jae Beom Pa ,  k ,  Se Jin Kyung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Pin To Plate Dielectric Barrier Discharge 방식의 Remote 대기압 플라즈마를 이용한 비정질 Si 식각

박재범 ,  경세진 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

대기압 플라즈마를 이용하여 증착된 SiO₂ 무기 박막의 특성

길엘리 ,  박재범 ,  오종식 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .05

DBD 대기압 플라즈마 해석에 대한 기초 연구

신명수 ,  김종호 ,  김성영 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

대기압 유전체배리어 방전으로 표면처리된 TiO₂ 분말의 광분해 특성

강정아 ,  김윤기

한국재료학회지

2016 .01

Properties of Dielectric-Barrier-Discharge Plasma Jet for Plasma Medicine

Giichi ,  o Uchida ,  Atsushi Miyazaki 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Nano-second Dielectric Barrier Discharge 구동기의 플라즈마 생성특성 연구

이영빈 ,  최대산 ,  김규홍 외 1명

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2018 .04

Study of the Amorphous Silicon Etching Mechanism Using Pin Type Dielectric Barrier Discharge

G. Y. Yeom

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

DBD(Dielectric Barrier Discharges)에서 진공 플라즈마 발생에 대한 해석적 연구

신명수 ,  차성훈 ,  김종봉 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2009 .03

교류 펄스 전압을 이용한 평판형 대기압 유전격벽방전 플라즈마의 특성 분석

이종봉 ,  하창승 ,  김동현 외 2명

전기학회논문지

2012 .05

평면형 대기압 유전장벽방전장치의 제작 및 동작특성분석

이기융 ,  김동현 ,  이호준

전기학회논문지

2014 .01

Atmospheric pressure plasma deposition of $SiO_X$ thin films by direct-Type pin-to-plate dielectric barrier discharge for flexible displays

Gil ,  Elly ,  Lee 외 5명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

유전 장벽 방전형 Ar/He 대기압 플라즈마의 유체 시뮬레이션과 광분석에 관한 연구

서권상 ,  김동현 ,  이해준 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .07

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Surface Dielectric Barrier Discharge for Generating Negative Oxygen Ions

Menglei Zheng ,  Wei Wei ,  Xinhong Chen 외 3명

한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집

2007 .06

DBD(Dielectric Barrier Discharges)에서 플라즈마 발생 해석

김종봉 ,  신명수 ,  김종호 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2008 .05

Dielectric Barrier Discharge(DBD) afterglow 주입을 통한 저 전압 대기압 플라즈마 발생

황솔 ,  박현호 ,  임토우 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .10

대기압 플라즈마를 이용한 Si 계 소재 식각 특성

석동찬 ,  노태협 ,  정용호 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

Remote Plasma Etching of Photoresist Using Pin-To-Plate Dielectric Barrier Discharge

박재범 ,  경세진 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

空氣/石英管複合誘電體障壁層의 高周保波 펄스 放電 特性

李應官 ,  禹貞旭 ,  鄭石煥 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07