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저자정보
Gil, Elly (Department of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University) Lee, June-Hee (Department of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University) Kim, Yang-Su (Department of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University) Yeom, Geun-Young (Department of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
발행연도
2009.1
수록면
1,483 - 1,485 (3page)

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Silicon dioxide ($SiO_2$) thin films were deposited using a modified DBD called a "pin-to-plate-type DBD" in order to generate high-density plasmas with a gas mixture of PDMS/$O_2$. The effect of the gas mixture on the physical and chemical properties of $SiO_2$ deposited by the pin-to-plate-type DBD with the mixture of PDMS/$O_2$ was investigated.
#Silicon oxide #PECVD #Atmospheric pressure

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