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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.5
- 수록면
- 131 - 132 (2page)
이용수
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Silicon dioxide (SiO₂) 박막이 높은 밀도의 플라즈마를 발생시킬 수 있는 modified pin-to-plate dielectric barrier discharge (DBD ... 전체 초록 보기
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