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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 제37회 하계학술대회 논문집 C
발행연도
2006.7
수록면
1,374 - 1,375 (2page)

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Ar/Cl₂ 유도결합 플라즈마 (ICP)의 가스 혼합비에 따른 (Bi<SUB>4-x</SUB>La<SUB>x</SUB>)Ti₃O₁₂ (BLT) 박막의 식각 메커니즘과 식각면에서의 플라즈마 손상을 조사하였다. BLT 박막의 최대식각률은 Ar/Cl₂ 플라즈마에서의 Ar 가스 혼합비가 80%일 때 50.8㎚의 값을 보였다. 정전 탐침을 통 ... 전체 초록 보기

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