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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.5
- 수록면
- 124 - 131 (8page)
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We proposed experimental setup, utilizing visible double-laser such as Ar ion laser and Nd-YAG laser to crystallize amorphous silicon for TFTs application. Numerical simulation was executed for investigating experimental parameters and these parameters included laser power and pulse width. Based on simulation analysis, experiments for crystallization were made and several microscopes were used for revealing sample structures. Color, morphologies and crystallization of irradiated samples were measured.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 토의
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (0)
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