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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.9
- 수록면
- 969 - 975 (7page)
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In this paper, bonded wafer analysis system is proposed using laser beam transmission; while the transmission model is derived by simulation. Since the failure of bonded wafer stems in void existence, transmittance deviations caused by the thickness of the void are analyzed and variations of the intensity through the void or defect easily have been recognized then the testing power has been increased. In addition, large screen display on laser study has been done which resulted in acquiring a feasible technique for analysis of the whole bonding surface. In this regard, three approaches are demonstrated in which Halogen lamp, IR lamp and laser have been tested and subsequently by results comparison the optimized technique using laser has been derived.
목차
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결과
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (16)
참고문헌 신청
1. [단행본] - Burgers, A.R. / 1997 / Light-trapping in Saw-Damage Etched Silicon Wafers, No. 5 / ECN Solar Energy
2. [학술지(정기간행물)] - Zhao, J. / 1991 / Optimized Anti-reflection Coatings for High-Efficiency Silicon Cells / IEEE Transactions on Electron Devices 38 (8)
3. [단행본] - Hofstetter, J. / 2007 / Electron Devices, “Optimization of SiNx:H Anti-Reflection Coatings / Electron Devices
4. [단행본] - An, I. S. / 2000 / Ellipsometry / Hanyang University
5. [학술지(정기간행물)] - Pang, H. Y. / 1997 / Measurement of a Refractive Index and Thickness of Silicon-Dioxide Thin Film on LCD Glass Substrate Using a Variable Angle Ellipsometry / Optical Society of Korea 8 (1)
2. [학술지(정기간행물)] - Zhao, J. / 1991 / Optimized Anti-reflection Coatings for High-Efficiency Silicon Cells / IEEE Transactions on Electron Devices 38 (8)
3. [단행본] - Hofstetter, J. / 2007 / Electron Devices, “Optimization of SiNx:H Anti-Reflection Coatings / Electron Devices
4. [단행본] - An, I. S. / 2000 / Ellipsometry / Hanyang University
5. [학술지(정기간행물)] - Pang, H. Y. / 1997 / Measurement of a Refractive Index and Thickness of Silicon-Dioxide Thin Film on LCD Glass Substrate Using a Variable Angle Ellipsometry / Optical Society of Korea 8 (1)
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