메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
고현준 (한국생산기술원구원) 박균명 (한국생산기술연구원) 김옥래 (한국생산기술연구원) 송춘삼 (서울산업대학교) 김준현 (서울산업대학교) 김종형 (서울산업대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 생산 및 설계공학부문 춘계학술대회
발행연도
2010.4
수록면
127 - 128 (2page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
This paper aimed at the air-pad design of non-contact transfer for wafer. It is focused on precise control for minimization of pneumatic loss, prevention of wafer secession, and reduction of wafer shock during holding the wafer. Analysis are performed at design parameters of path length for hand device injection port, inlet air size ... 전체 초록 보기

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

웨이퍼 휨에 대한 비접촉식 이송시스템의 유동-구조 해석
김병삼 ,  박경우 ,  송연민 대한기계학회 춘추학술대회 2009 .11
공기 부상바식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가
문인호 ,  김동권 ,  조상준 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2005 .05
공기부상형 웨이퍼 낱장이송 시스템의 부상 노즐에 따른 특성 평가
문인호 ,  황영규 ,  조상준 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2004 .06
비접촉 회전이송 시스템의 구성에 대한 고찰
안성욱 ,  김준현 ,  김영글 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2014 .09
효율적 웨이퍼 이송을 위한 비접촉 멀티패드 핸드장치의 최적설계
김옥래 ,  김종형 ,  고현준 외 4명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013 .05

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2010-550-003190143