스핀코터의 진동 평가를 통한 이상 검출 시스템 개발

문준희; 이봉구

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자료유형: 학술저널

저자정보: 문준희 (대림대학) 이봉구

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.26 No.11

발행연도: 2009.11

수록면: 47 - 54 (8page)

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2009

스핀코터의 진동 평가를 통한 이상 검출 시스템 개발

문준희 , 이봉구 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009.11 학술저널

스핀코터의 진동 분석을 통한 이상 진단 시스템 개발

문준희 , 박희재 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2009.04 학술대회자료

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Spin coaters are the essential instruments in micro-fabrication processes, which apply uniform thin films to flat substrates. In this research, a spin coater diagnosis system is developed to detect the abnormal operation of TFT-LCD process in real time. To facilitate the real-time data acquisition and analysis, the circular-buffered continuous data transfer and the short-time Fourier transform are applied to the fault diagnosis system. To determine whether the system condition is normal or not, a steady-state detection algorithm and a frequency spectrum comparison algorithm using confidence interval are newly devised. Since abnormal condition of a spin coater is rarely encountered, algorithm is tested on a CD-ROM drive and the developed program is verified by a function generator. Actual threshold values for the fault detection are tuned in a spin coater in process.

#Spin Coater (스핀 코터) #Rotating Machinery (회전 기계) #Fault Diagnosis (이상 진단) #Short-time Fourier Transform (단시간 푸리에 변환) #Circular-buffered Continuous Data Transfer (순환 버퍼 연속 데이터 전송)

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