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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 스핀코터 진동원 및 동특성 분석 실험
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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스핀 코터 시스템의 진동 저감을 위한 3차원 모델링과 민감도 해석
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스핀코터의 진동 평가를 통한 이상 검출 시스템 개발
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2012 .11
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1992 .01
P/R Coater공정용 Exhaust Flow Controller의 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
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