화합물 반도체 본딩용 Spin Coater Module의 동특성 평가

강재훈 ,  송준엽 ,  김옥구

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2005 .06

회전박막제조기의 진동 및 입자발생이 박막제조에 미치는 영향에 관한 연구

허진욱 ,  권태종 ,  정진태 외 2명

한국소음진동공학회논문집

2001 .07

본딩 웨이퍼 검사를 위한 모델링 연구

임영환 ,  양시은 ,  장동영 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2008 .05

스핀코터의 진동 평가를 통한 이상 검출 시스템 개발

문준희 ,  이봉구

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2009 .11

GaAs 본딩장비용 Resin Coater의 동적 안전성 평가

김옥구 ,  송준엽 ,  강재훈 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .05

Coater Die 내 코팅액의 Flow Balance 해석

류민영 ,  김혜연 ,  심현영 외 2명

금형가공 심포지엄

2008 .11

레이저빔 투과 모델링을 이용한 본딩 웨이퍼 검사

임영환 ,  양시은 ,  장동영 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

P/R Coater공정용 Exhaust Flow Controller의 개발

박찬원 ,  김현식 ,  주용규

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

스핀 코터 성능향상을 위한 모델링 및 민감도 해석

권태종 ,  채호철 ,  한창수 외 2명

한국공작기계학회지

2000 .10

저유전체 고분자 접착 물질을 이용한 웨이퍼 본딩을 포함하는 웨이퍼 레벨 3차원 집적회로 구현에 관한 연구

Kwon ,  Yongchai ,  Seok 외 7명

화학공학

2007 .01

실리콘 웨이퍼 생산공정용 왁스 스핀코팅장치 내 기류 특성에 대한 3차원 전산유동해석

김용기 ,  김동주 ,  우마로프 알리세르 외 2명

한국기계가공학회지

2011 .12

스핀코터의 진동 분석을 통한 이상 진단 시스템 개발

문준희 ,  박희재

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2009 .04

Wafer Bonding Fabrication of III-V/Si Based Tandem Solar Cells: A Review

Swagata Panchanan ,  Subhajit Dutta ,  Kuma 외 7명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2018 .11

스핀코터 성능향상을 위한 진동특성의 실험적 규명

허진욱 ,  정진태

한국소음진동공학회 학술대회논문집

1999 .11

스핀 코터 시스템의 진동 저감을 위한 3 차원 모델링과 민감도 해석

채호철 ,  류인철 ,  한창수

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .02

스핀 코터 시스템의 진동 저감을 위한 3차원 모델링과 민감도 해석

유인철 ,  채호철 ,  장진희 외 1명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2001 .10

PECVD방법으로 형성한 $W_{67}N_{33}$/GaAs구조의 열적 특성

이세정 ,  홍종성 ,  이창우 외 3명

한국재료학회지

1993 .01

레이저빔 투과 모델링을 이용한 본딩 웨이퍼 검사

임영환 ,  양시은 ,  장동영 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

스핀코터를 이용한 박막의 기계적 안정성 평가

김지은 ,  김정환 ,  홍성철 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

GaAs Technology

김철규

대한전자공학회 학술대회

1988 .01