스핀코터 성능향상을 위한 진동특성의 실험적 규명

허진욱 ,  정진태

한국소음진동공학회 학술대회논문집

1999 .11

스핀 코터 시스템의 진동 저감을 위한 3 차원 모델링과 민감도 해석

채호철 ,  류인철 ,  한창수

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .02

스핀 코터 시스템의 진동 저감을 위한 3차원 모델링과 민감도 해석

유인철 ,  채호철 ,  장진희 외 1명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2001 .10

스핀코터의 진동 평가를 통한 이상 검출 시스템 개발

문준희 ,  이봉구

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2009 .11

스핀 코터 성능향상을 위한 모델링 및 민감도 해석

권태종 ,  채호철 ,  한창수 외 2명

한국공작기계학회지

2000 .10

회전박막제조기의 진동 및 입자발생이 박막제조에 미치는 영향에 관한 연구

허진욱 ,  권태종 ,  정진태 외 2명

한국소음진동공학회논문집

2001 .07

슬롯다이 코터 유동 해석

황중국 ,  서응수 ,  이준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

마이크로 그라비어 코터 핵심 요소 기술 개발

배성우 ,  김동수 ,  조정민

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

설비진단을 위한 비선형진동의 이해

최연선

한국소음진동공학회 강습회자료집

2003 .10

인쇄전자소자 제작용 롤투롤 멀티 코터개발 및 공정연구

김동수 ,  이재현 ,  김태일 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .10

스핀코터를 이용한 박막의 기계적 안정성 평가

김지은 ,  김정환 ,  홍성철 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

나노구조체를 이용한 광스핀홀 효과 증폭

김민경

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

화합물 반도체 본딩용 Spin Coater Module의 동특성 평가

강재훈 ,  송준엽 ,  김옥구

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2005 .06

스핀테이블을 이용한 스핀안정화 기법 연구

김대연 ,  서종은 ,  한재흥 외 2명

한국항공우주학회지

2018 .05

GaAs 웨이퍼 본딩시스템의 Spin Coater 특성해석

송준엽 ,  강재훈 ,  한승우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

P/R Coater공정용 Exhaust Flow Controller의 개발

박찬원 ,  김현식 ,  주용규

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

Flexible태양전지 초저가 생산기술 개발

김동수 ,  김태일 ,  이재현 외 4명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2012 .11

고장진단 알고리즘 개발

서규석 ,  옥치연 ,  백영식 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .11

이층 유체 스핀 엎 과정의 수치해석 ( Numerical Analysis of Two-Layer Spin-Up )

김관엽 ,  현재민

대한기계학회 춘추학술대회

1992 .01