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이용수
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결과
4. 결론
감사의 글
[참고문헌]
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고밀도 유도결합 플라즈마원 유체 수송 시뮬레이션을 위한 모델 및 수치해석 방법 비교
전기학회논문지 C
2004 .08
와이어ㆍ이온ㆍ플라즈마원의 방전 특성
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1997 .07
유도결합형 플라즈마 소스를 이용한 집속 이온빔용 가스 이온원 개발
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2011 .01
Control of electron temperature and ion ratios in inductively coupled plasma using grid bias voltage
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
플라즈마 소스 이온주입용 플라즈마원의 이온 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
와이어ㆍ이온ㆍ플라즈마원의 방전현상에 관한 수치적 해석
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
유도결합 플라즈마 장치의 유한 요소 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .11
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1991 .11
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한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
유도결합 플라즈마를 이용한 크름 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
유도결합플라즈마를 이용한 Carbon Ion Source 개발
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
유체 시뮬레이션을 이용한 Ar/H₂ 유도 결합형 플라즈마 소스의 중성 기체 온도 구배 효과에 관한 연구
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유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar/CH₄ 플라즈마의 특성 분석
전기학회논문지
2016 .08
N₂/NH₃SiH₄ 유도 결합형 플라즈마의 압력과 혼합가스 비율에 따른 이온 및 중성기체 밀도 분포
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2017 .02
정전 탐침법과 유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마의 특성 연구
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2016 .07
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