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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
차주홍 (부산대) 이호준 (부산대)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제65권 제8호
발행연도
2016.8
수록면
1,376 - 1,382 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (9)

2020

유도결합 및 초고주파 하이브리드 플라즈마 발생장치에 관한 연구
차주홍 ,  김군호 ,  이호준 대한전기학회 학술대회 논문집 2020.07 학술대회자료

2018

선형 초고주파 플라즈마의 유체 시뮬레이션에 관한 연구
차주홍 ,  이호준 대한전기학회 학술대회 논문집 2018.10 학술대회자료

2017

선형 초고주파 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션에 관한 연구
차주홍 ,  이호준 대한전기학회 학술대회 논문집 2017.10 학술대회자료

2016

선형 초고주파 플라즈마 및 유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구
차주홍 ,  이호준 대한전기학회 학술대회 논문집 2016.10 학술대회자료
유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar/CH₄ 플라즈마의 특성 분석
차주홍 ,  이호준 전기학회논문지 2016.08 학술저널
유체 시뮬레이션과 정전 탐침법을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마 특성에 관한 연구
차주홍 ,  이호준 대한전기학회 학술대회 논문집 2016.07 학술대회자료
정전 탐침법과 유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마의 특성 연구
차주홍 ,  이호준 전기학회논문지 2016.07 학술저널

2015

유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구
차주홍 ,  한문기 ,  서권상 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2015.11 학술대회자료
유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션
차주홍 전자전기컴퓨터공 2015.01 학위논문

초록· 키워드

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The discharge characteristics of inductively coupled Ar/CH₄ plasma were investigated by fluid simulation. The inductively coupled plasma source driven by 13.56 Mhz was prepared. Properties of Ar/CH₄ plasma source are investigated by fluid simulation including Navier-Stokes equations. The schematics diagram of inductively coupled plasma was designed as the two dimensional axial symmetry structure. Sixty six kinds of chemical reactions were used in plasma simulation. And the Lennard Jones parameter and the ion mobility for each ion were used in the calculations. Velocity magnitude, dynamic viscosity and kinetic viscosity were investigated by using the fluid equations. Ar/CH₄ plasma simulation results showed that the number of hydrocarbon radical is lowest at the vicinity of gas feeding line due to high flow velocity. When the input power density was supplied as 0.07W/㎤, CH radical density qualitatively follows the electron density distribution. On the other hand, central region of the chamber become deficient in CH3 radical due to high dissociation rate accompanied with high electron density.
#13.56 Mhz #Fluid simulation #PECVD #Ar/CH₄ plasma #Hydro carbon plasma

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험구성 및 실험방법
3. 시뮬레이션 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
[단행본] - H. Biederman / 2004 / Plasma Polymer Films / Imperial College Press google schola [단행본] - H. Yasuda / 1985 / Plasma Polymerization / Academic Press, Inc google schola [기타자료] - / 2013 / COMSOL Multiphysics Version 4.4 User Guide google schola [학술지(정기간행물)] - GJM Hagelaar / 2005 / solving the Boltzmann equation to obtain electron transport coefficients and rate coefficients for fluid models / Plasma Sources Sci Technol 14 : 722 ~ 733 google schola [학술지(정기간행물)] - M. Heintze / 2002 / / J. Appl. Phys 92 : 7022 ~ google schola

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