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Study on Damage Reduction of (Ba0.6,Sr0.4)TiO3 Thin Films in Ar/CF4 Plasma
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조성변화에 따른 BST 박막의 특성에 관한 연구 ( A Study on the Characteristics of BST Thin Films with various Ba/Sr Ratio )
전자공학회논문지-A
1996 .06
Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 (Ba0.6Sr0.4)TiO3 박막의 식각 특성
전기전자재료학회논문지
2002 .01
Ar/CF₄ 고밀도 플라즈마에서 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 식각 메카니즘
전기학회논문지 C
2000 .05
Ar/CF₄ 고밀도 플라즈마에서 (Ba, Sr)TiO₃ 박막의 식각 매카니즘에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
Etching characteristics of BST thin films using BCl₃/Cl₂/Ar plasma
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .10
EFFECT OF Ti$O_2$ LAYER AT BST/pt INTERFACE
Fabrication and Characterization of Advanced Materials
1995 .01
Dry Etching of BST using Inductively Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2005 .01
The Dry Etching Characteristics of TiO2 Thin Films in N2/CF4/Ar Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2014 .01
Sol-Gel 방법에 의한 BST 박막의 표면 및 전기적 특성
전기전자재료학회논문지
2002 .01
BST 박막 두께 감소에 따른 BST/BSR 캐패시터의 전기적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
BST 박막의 누설전류 및 유전특성 향상을 위한 2단계 증착법에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
MgO가 첨가된 (Ba0.5Sr0.5)TiO₃ 후막의 유전특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
고밀도 플라즈마에 의한 (Ba.Sr)TiO₃막의 식각특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
Microcrystalline BST 층의 적용을 통한 BST/Ru$O_{2}$박막의 누설전류특성 향상
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
BST 박막의 두께 변화에 따른 전기적 특성에 관한 연구
한국정보통신학회논문지
2002 .08
The Use of Inductively Coupled CF4/Ar Plasma to Improve the Etch Rate of ZrO2 Thin Films
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2013 .01
Dry etching of BST thin films using inductively coupled plasma
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .11
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