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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 토의
4. 결론
[참고문헌]
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엑시머 레이저를 이용하여 동시에 형성된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막 ( Silicon Oxide and Poly - Si Film Simultaneously Formed By Excimer Laser )
전자공학회논문지-D
1997 .01
산소를 함유한 비정질 실리콘 박막에 대한 XeCl 엑시머 레이저 어닐링 효과
전기학회논문지
1997 .12
이온 주입과 엑시머 레이저 조사에 의해 동시에 제작된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
자연 산화막과 엑시머 레이저를 이용한 poly-Si/a-Si 이중 박막 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
전기학회논문지 C
2000 .01
붕소 도핑된 수소화 비정질 실리콘 산화막의 수소 희석 효과
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2018 .04
엑시머 레이저를 이용한 마이크로 렌즈 가공 모델링 및 시뮬레이션
한국생산제조학회지
2004 .02
선택적인 Si 이온 주입이 비정질 실리콘의 레이저 결정화에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .11
붕소 도핑된 수소화 비정질 실리콘 박막의 광도전 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .07
비정질 실리콘 박막의 결정화에 대한 기판의 영향
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
실리콘 산화막을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막트랜지스터 제작 ( Fabrication on Amorphous Silicon Thin Film Transistors Using the SiO2 Film )
전자공학회논문지-A
1992 .05
유전자 알고리즘을 이용한 엑시머 레이저가공의 최적조건 선정
한국생산제조학회지
2002 .12
엑시머 레이저를 이용하여 결정화한 PECVD 및 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
금속 유도 엑시머 레이져 어닐링을 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
엑시머 레이저를 이용하여 결정화한 PECVD 및 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 특성 분석 ( Characterization of PECVD and LPCVD a-Si Films Crystallized by Excimer Laser )
전자공학회논문지-A
1996 .06
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
엑시머 레이저를 이용한 산화 바나듐 박막의 상변화 유도에 관한 연구
한국레이저가공학회지
2002 .01
엑시머 레이저를 이용한 산화 바나듐 박막의 상변화 유도에 관한 연구
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2002 .01
비정질/다결정 실리콘 박막 저항의 열처리에 따른 특성
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
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