The Dependence of SiON/Si Interface Characteristic on Depositions Conditions Using Laser CVD

Yung-Kwon Sung ,  Ji-Ho Ryoo ,  Jong-Kwan Kim 외 1명

JOURNAL OF KIEE

1995 .09

Laser CVD SiON막과 Si기판 계면특성의 퇴적조건 의존성 ( Dependence on Deposition Conditions of Interface Characteristics Between Laser CVD SiON Film and Si-Sub )

박지순 ,  박근영 ,  이계신 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

Laser CVD에 의한 SiON막의 형성과 그 특성

권봉재 ,  박종욱 ,  천영일 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

The Characteristics of Laser-Induced CVD SiON Thin Films

Chang Duk Kim ,  Sang Woo Lee ,  Tae Hun Kim 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Laser CVD SiON막의 막 형성 후 열처리 의존성

김창덕 ,  김인수 ,  고중혁 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

Laser CVD SiN막에 의한 SiN-Si계 TFD 특성의 DLTS에 의한 해석

홍성훈 ,  양지운 ,  조태훈 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Laser CVD에 의한 poly-Si 막의 퇴적 및 Laser etching 특성

권경환 ,  김영훈 ,  신상우 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

Characterization of CAST Poly-Si Using DLTS Measurements

In-Gab Hwang

JOURNAL OF KIEE

1994 .09

The Characteristics of Poly-Si Films Deposited by Laser CVD and Laser Etching

김영훈 ,  권경환 ,  김태훈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

DLTS시스템 제작 및 그 응용

정희범 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

DLTS의 원리 및 측정 방법

권영규

전자공학회지

1988 .02

고 ENERGY 해상도를 위한 새로운 DLTS측정방법 ( A New DLTS Measurement Technique with High Energy Resolution )

배동건

대한전자공학회 세미나

1994 .01

DLTS 분석기술의 원리와 응용

임한조

대한전자공학회 워크샵

1988 .01

DLTS 시스템을 이용한 MOSFET 측정 ( MOSFET Measurements on the DLTS System )

김홍배

전자공학회논문지-A

1991 .02

Laser CVD SiO2 막의 제특성 ( Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

Laser CVD SiO₂막의 제특성

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

FEM을 이용한 Dynamic Locking Tongue(DLT)의 강도 해석 및 형상 최적화

최지훈 ,  박태원 ,  이진희

대한기계학회 논문집 A권

2012 .06

Laser CVD SiN막의 전기적 특성

김용우 ,  김상욱 ,  박종욱 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .11

DLTS방법을 이용한 MOS Capacitor 계면 상태 측정 ( Measurements of Interface States in a MOS Capacitor by DLTS )

배동건 ,  정상구

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Laser CVD에 의한 Ta₂O₅ 형성과 그 특성

홍성훈 ,  류지호 ,  양지운 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07