Laser CVD SiN막의 전기적 특성

김용우; 김상욱; 박종욱; 김천섭; 성영권

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김용우 김상욱 박종욱 김천섭 성영권

저널정보: 대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1990年度秋季學術大會論文集

발행연도: 1990.11

수록면: 85 - 87 (3page)

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