Laser CVD SiO₂막의 제특성

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Laser CVD SiO2 막의 절연파괴특성 ( Breakdown Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

Laser CVD SiO₂ 막의 절연파괴특성

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Laser CVD에 의한 SiO₂박막 콘덴서의 시작과 그 특성

홍성훈 ,  조태훈 ,  유환성 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

공정 Simulation에 의한 Laser CVD SiO₂막 형성 기구 규명에 관한 연구

신상우 ,  이상권 ,  김태훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

레이져 CVD에 의한 SiO₂막의 형성기구 모델링에 관한 연구

류지호 ,  소황영 ,  김영훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

Laser CVD로 형성시킨 SiO2 막 성장 기구의 모델링에 관한 연구

류지호 ,  주유진 ,  허윤종 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

Laser CVD에 의한 SiO2막의 형성과 제특성 ( Formation and Properties of Silicon Dioxide Film by Laser-Chemical Vapor Deposition )

김용우 ,  김천섭 ,  김상욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Laser CVD SiN막의 전기적 특성

김용우 ,  김상욱 ,  박종욱 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .11

ECR CVD를 이용한 SiO₂ 박막 특성에 관한 연구

윤석규 ,  강문상 ,  김재영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

ECR CVD를 이용한 SiO2 박막 특성에 관한 연구 ( A Study on The Electrical Characteristics of SiO2 Prepared By ECR CVD )

윤석규 ,  강문상 ,  김재영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성

박근영 ,  유환성 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

Laser CVD에 의한 Ta₂O₅ 형성과 그 특성

홍성훈 ,  류지호 ,  양지운 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

Laser Cvd Silicon Nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation ( Simulation of Life Time Laser Cvd Sin Films )

김천섭 ,  김용우 ,  권봉재 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Laser CVD silicon nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation

김천섭 ,  김용우 ,  권봉재 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Laser CVD에 의한 poly-Si 막의 퇴적 및 Laser etching 특성

권경환 ,  김영훈 ,  신상우 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

The Characteristics of Poly-Si Films Deposited by Laser CVD and Laser Etching

김영훈 ,  권경환 ,  김태훈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

A Study of Deposition Mechanism of Laser CVD SiO2 Film

Jeong-MyeonSong ,  Yung-KwonSung ,  Byung-MooMoon

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2003 .01