지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
Abstract
1. 서론
2. 시료의 제작 및 측정
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
The Characteristics of Poly-Si Films Deposited by Laser CVD and Laser Etching
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
LASER
전자공학회지
1969 .11
Laser CVD SiO2 막의 제특성 ( Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )
대한전자공학회 학술대회
1991 .07
Laser CVD SiO₂막의 제특성
대한전자공학회 학술대회
1991 .06
Laser CVD SiON막과 Si기판 계면특성의 퇴적조건 의존성 ( Dependence on Deposition Conditions of Interface Characteristics Between Laser CVD SiON Film and Si-Sub )
대한전자공학회 학술대회
1992 .11
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
Laser CVD SiN막의 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1990 .11
Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1992 .06
Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구 ( A Study on Selective Area Deposition by Laser CVD Method )
대한전자공학회 학술대회
1992 .07
Ar+ ion laser를 이용한 단결정/다결정 Si 식각 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
A Study on Selective Area Deposition of Insulating Films by Laser CVD Method
전기학회논문지
1993 .09
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
Laser CVD에 의한 Ta₂O₅ 형성과 그 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
Laser CVD silicon nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Laser Cvd Silicon Nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation ( Simulation of Life Time Laser Cvd Sin Films )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Laser CVD SiO₂ 막의 절연파괴특성
대한전자공학회 학술대회
1991 .06
Laser CVD SiO2 막의 절연파괴특성 ( Breakdown Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )
대한전자공학회 학술대회
1991 .07
The Dependence of SiON/Si Interface Characteristic on Depositions Conditions Using Laser CVD
JOURNAL OF KIEE
1995 .09
Laser CVD에 의한 SiO2막의 형성과 제특성 ( Formation and Properties of Silicon Dioxide Film by Laser-Chemical Vapor Deposition )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
공정 Simulation에 의한 Laser CVD SiO₂막 형성 기구 규명에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
0