RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성

오수영 ,  김응권 ,  이태용 외 3명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의성장과 미세구조 분석

소순진 ,  유인성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

통신기기용 ZnO 탄성표면파 필터의 제작에 관한 연구

이동윤

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .10

다양한 산화물 기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 ZnO 박막의 특성 비교

이재욱 ,  정철원 ,  한석규 외 5명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

Undoped ZnO 박막에 Ampoule-tube 방법을 이용한 P와 As의 확산과 p형 ZnO 박막의 전기적 특성

소순진 ,  박춘배 ,  왕민성

전기전자재료학회논문지

2005 .01

ZnO 박막을 이용한 표면탄성과 필터의 특성 ( Fabrication of Surface Acoustic Wave Filter Using ZnO Thin Films )

김영진 ,  최병진 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

SAW Filter용 ZnO 박막의 제작

성하윤 ,  양진석 ,  금민종 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .11

SAW Filter용 ZnO 박막의 제작

成河崙 ,  楊鎭奭 ,  琴旻鐘 외 2명

전기학회논문지 C

2001 .05

RF-Sputtering 법을 이용한 ZnO:Al 박막의 후 열처리에 따른 특성 변화

이재형 ,  이동진

전기전자재료학회논문지

2008 .01

ZnO 스퍼터링에서 기판전압의 변화에 의한 성장 조절

최재원 ,  전원진 ,  조중열

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

투명 전자 소자로의 응용을 위해 플라스틱 기판에 성장시킨 ZnO 특성

이준표 ,  윤영섭

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

태양전지 응용을 위한 PC 기판상의 ZnO:Al 박막 특성에 관한 연구

나영일 ,  이재형 ,  임동건 외 1명

전기전자재료학회논문지

2005 .01

In-situ 분위기 Annealing에 따른 ZnO/Sapphire(0001) 박막의구조적 특성 분석

유인성 ,  왕민성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

신경회로망을 이용한 RF 스퍼터링 ZnO 박막증착 프로세스 모델링

박춘배 ,  이상극 ,  임근영

전기전자재료학회논문지

2006 .01

SAW 대역 통과 필터용 ZnO 박막의 특성 개선 연구

이승환 ,  강광용 ,  유윤식

한국전자파학회논문지

2014 .12

RF 출력이 ZnO 박막의 전기·광학적 특성에 미치는 영향

신동휘 ,  변창섭 ,  김선태

한국재료학회지

2012 .01

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명반도체 특성

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

ZnO 박막의 RF 마그네트론 스퍼터 증착 중 미리 가열된 기판의 자연냉각 효과

朴成賢 ,  李能憲

전기학회논문지

2007 .05

플라스틱 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성에 미치는 스퍼터 압력 효과

이재형

전기전자재료학회논문지

2009 .01

RF 마그네트론 스터터링에 의한 ZnO박막증착 및 SAW 필터 특성 분석

이용의 ,  양형국 ,  김영진 외 2명

한국재료학회지

1994 .01