플라스틱 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성에 미치는 스퍼터 압력 효과

이재형

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이재형

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제22권 제3호

발행연도: 2009.1

수록면: 277 - 283 (7page)

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In this paper, aluminum doped zinc oxide (ZnO:Al) thin films on plastic substrate such as poly carbonate (PC), polyethylene terephthalate (PET) were prepared by RF magnetron sputtering method for flexible solar cell applications. Effects of the sputter pressure on the structural, electrical and optical properties were investigated. The crystallinity and the degree of the (002) orientation were deteriorated with increasing the sputter pressure. When the sputter pressure was higher, the conductivity of ZnO:Al films was improved because of the high carrier concentration and the Hall mobility. High quality ZnO:Al films with resistivity as low as 1.9×10-3 Ω-cm and the optical transmittance over 80 % in the visible region have been obtained on PC substrate at 2 mTorr.

#Zinc Oxide #ZnO) #Aluminium doped zinc oxide #ZnO:Al) #RF magnetron sputtering #Sputter pressure #Transparent conducting oxide #TCO) #Solar cell

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G. Frank / 1981 / Transparent heat-reflecting coatings based on highly doped semiconductors / Thin Solid Films 77 : 107 ~

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H. Nanto / 1984 / Highly conductive and transparent aluminium doped zinc oxide thin films prepared by RF magnetron sputtering / Jpn. J. Appl. Phys. 23 (5) : L280 ~

J. H. Lee / 2007 / Structural,electrical and optical properties of ZnO:Al films deposited on flexible organic substrates for solar cell applications / Thin Solid Films 515 :

S. Hashimoto / 1992 / Correction of peak shift and classification of change of x-ray photoelectron spectra of oxides as a result of ion sputtering / Surf. & Interface Ana

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