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Laser CVD silicon nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Laser CVD SiN막의 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1990 .11
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
CO₂ Laser-induced CVD법에 의한 Silicon 박막 및 p-n접합 Silicon제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1989 .11
Laser CVD SiO2 막의 제특성 ( Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )
대한전자공학회 학술대회
1991 .07
Laser CVD SiO₂막의 제특성
대한전자공학회 학술대회
1991 .06
Laser CVD SiN막에 대한 원료가스와 형성 후처리효과
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
공정 Simulation에 의한 Laser CVD SiO₂막 형성 기구 규명에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
Laser CVD에 의한 Ta₂O₅ 형성과 그 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
Laser CVD SiO2 막의 절연파괴특성 ( Breakdown Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )
대한전자공학회 학술대회
1991 .07
Laser CVD SiO₂ 막의 절연파괴특성
대한전자공학회 학술대회
1991 .06
A Study on Selective Area Deposition of Insulating Films by Laser CVD Method
전기학회논문지
1993 .09
Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구 ( A Study on Selective Area Deposition by Laser CVD Method )
대한전자공학회 학술대회
1992 .07
Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1992 .06
새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )
대한전자공학회 학술대회
1989 .07
Laser CVD에 의한 poly-Si 막의 퇴적 및 Laser etching 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
The Characteristics of Poly-Si Films Deposited by Laser CVD and Laser Etching
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성 ( Amorphous Silicom Film Formation by Laser CVD )
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
Laser CVD에 의해 국소선택적으로 형성한 절연막의 형성특성 ( Formation characteristics of selective area deposited insulating films by Laser CVD )
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
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