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방정환 (한양대학교) 김원 (한양대학교) 엄현석 (한양대학교) 박진석 (한양대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회
발행연도
2009.7
수록면
1,246 - 1,247 (2page)

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Effects of hydrogen and oxygen additives on structural, optical, and electrical properties of ZnO films were extensively examined. ZnO films were deposited using RF sputtering by varying the gas mixing ratio of H₂ and O₂. Optical transmittances at visible region, electrical resistivities, and micro-structures of ZnO films were characterized ... 전체 초록 보기

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