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고기한 (한밭대학교) 서재근 (한밭대학교) 이상준 (한밭대학교) 황채영 (한밭대학교) 배은경 (한밭대학교) 임무길 (한밭대학교) 최원석 (한밭대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회
발행연도
2009.7
수록면
1,343 - 1,344 (2page)

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In this work, transparent conducting Al-doped zinc oxide (AZO) films were prepared on Corning glass substrate by RF magnetron sputtering using an Al-doped ZnO target (Al: 2 wt.%) at room temperature and all films were deposited with athickness of 150 ㎚. We investigated the effects of the post-annealing temperature and the annealing ambient on structural, electrical and optical properties of AZO films. The films were annealed a ... 전체 초록 보기

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