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Yajun Ma (Tsinghua Univeristy) Shenghua Li (Tsinghua Univeristy) Yuansheng Jin (Tsinghua Univeristy) Guoshun Pan (Tsinghua Univeristy) Yucong Wang (Gernal Motors Corporation) Simon C. Tung (Gernal Motors Corporation)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2002년도 Proceedings of The Second Asia International Conference on Tribology
발행연도
2002.10
수록면
135 - 136 (2page)

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Molybdenum Nitrided (MoNx) films were deposited by DC planar magnetron sputtering. Silicon wafers and real nitrided stainless steel piston rings are employed as substrates. 12 different combinations of nitrogen and argon partial pressure, from 1:7 to 7:1, were applied to deposit MoNx films. X-ray diffraction (XRD) was used to determine the phase structur ... 전체 초록 보기
#Molybdenum nitride #Film #Magnetron sputtering

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