ULSI 확산억제막으로 적합한 Ti - Si - N의 조성 범위에 관한 연구

박상기 ,  강봉주 ,  양희정 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .10

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 ,  이석규 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

하이브리드 소스를 이용한 Ti-Si-N nanocomposite 박막 코팅 기술 개발 연구

이승훈 ,  김도근 ,  이골 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Growth of Ti on Si(111) - 7×7 Surface and the Formation of Epitaxial C54 TiSi₂ on Si(111) Substrate

김건호 ,  김인호 ,  이정주 외 9명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

분자 동역학을 이용한 온도변화에 따른 단결정-/다결정-Si의 기계적 특성 연구

최용수 ,  박영호 ,  현상일

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

A first principles study on magnetism of Fe3Si on Si(001) and Si(111) substrates

Do ,  j Odkhuu ,  Won Seok Yun 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Metal nanowires formed on high - index Si surfaces : Bi / Si(5 5 12) vs Ag/ Si(5 5 12)

S. H. Cho ,  J. M. Seo

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Analysis of Si-, O- and H- bonding effect at Si-SiO₂ interface for c-Si surface passivation quality by thermal oxidation

Jiyoon KANG ,  Minhan JEON ,  Donghyun OH 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Si(5 5 12)에 존재하는 안정된 Si(6 9 17) Facet의 구조

주영철 ,  조상희 ,  전무현 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Comparative Study on Mechanical Properties of MoSiN Multilayer Films Deposited on Si(100) and Ti-covered Si(100) Substrates

정충경 ,  정윤모 ,  한전건 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

승온시 Si₂H6 가스 주입을 이용한 표면 SiO₂의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피텍시에 관한 연구

최태희 ,  남승의 ,  김형준

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09

동시증착에 의한 Si(111) - 7×7 기판 위에 TiSi₂ 에피택셜 성장

최치규 ,  류재연 ,  오상식 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1994 .12

The atomic structure of high - index Si surfaces : Si(5 5 12) and its potential applications

Jae Myung Seo

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Structural Properties of Si(113) surface

황찬국 ,  김학수 ,  김용기 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Atomic structure of Si(337)-4×1 induced by C incorporation into Si(5 5 12)-2×1

Hidong Kim ,  Otgonbaya ,  Duge 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Indium이 도핑된 CeO₂ / Si박막과 Si / CeO₂ / Si박막의 발광 현상

문병식 ,  양지훈 ,  김관표 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

ICP-AES를 이용한 Al-Si-C 중 Si분석방법

박동식 ,  김창록 ,  정세훈 외 1명

한국분석과학회 학술대회

2016 .05

실리콘 결정의 수소 흡수 : Si(100) vs. Si(111)

정민복 ,  조삼근

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02