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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1998.2
- 수록면
- 85 - 86 (2page)
이용수
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투명전도막(TCO)인 산화주석막(Tin oxide, TO)을 원료물질 tetramethyltin(TMT), 산소, 그리고 오존이 5㏖% 함유된 산소 등의 다양한 가스 조합조건 하에서 low pressure-MOCVD법으로 증착하였다. TO박막의 특성은 ... 전체 초록 보기
목차
요약문
서론
실험방법
실험결과
결론
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