백색 LED증착용 MOCVD 유도가열 장치에서 가스 inlet위치에 따른 기판의 온도 균일도 측정

홍광기; 양원균; 주정훈

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 홍광기 (군산대학교) 양원균 (군산대학교) 주정훈 (군산대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.8

수록면: 115 - 115 (1page)

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2010

백색 LED 증착용 MOCVD 장치에서 유도가열을 이용한 기판의 온도 균일도 향상에 관한 연구

홍광기 , 양원균 , 주정훈 외 2명 한국표면공학회지 2010.12 학술저널

백색 LED증착용 MOCVD 유도가열 장치에서 가스 inlet위치에 따른 기판의 온도 균일도 측정

홍광기 , 양원균 , 주정훈 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료

백색 LED증착용 MOCVD장치에서 유도가열을 이용한 기판의 온도 균일도 향상에 관한 연구

홍광기 , 양원균 , 전영생 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

2009

백색 LED증착용 MOCVD장치의 유도 가열 해석

홍광기 , 주정훈 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009.10 학술대회자료

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 54 이용수 2,651

주정훈

소속기관 군산대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 176 이용수 7,340

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