메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제5권 제3호
발행연도
1996.9
수록면
229 - 238 (10page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
절연보호막 처리된 Al-1%Si 박막배선에서 고정된 D.C. 및 Pulsed D.C. 조건하에서의 electromigration 현상과 도체수명특성에 대하여 조사하였다. 길이 21080㎛, 선폭 3㎛의 dimension을 갖는 meander type의 passivation layer(SiO₂/PSG)가 0.1㎛/0.8㎛의 두께로 절연막처리 되어있는 Al-1%Si 박막배선에 고정된 전류밀도 2×10^6A/㎠ 1×10^7 A/㎠의 D.C.와 200㎑, 800㎑, 1㎒, 4㎒의 주파수 범위를 가지며, duty factor 0.5인 2×10^6 A/㎠, 1×10^7 A/㎠의 전류밀도를 갖는 Pulsed D.C.를 인가하였다. 인가된 D.C. 및 Pulsed D.C. 조건하에서의 도체수명은 D.C. 보다는 Pulsed D.C.인 경우에 더 긴것으로 나타났고 전류밀도에 크게 의존하고 있음을 알 수 있었다.D.C 보다는 Pulsed D.C 조건하에서 도체수명이 더 긴 것은 duty cycle을 갖는 wave on-off형태의 Pulsed D.C.에서 pulsed off time시에 발생하는 박막배선 내부의 기계적, 전기적 stress gradient에 기인한 과잉 vacancy의 퇴화형성과정인 이완현상(relaxation phenomenon)으로 생각된다. 박막배선내부에 electromigration 현상에 의해 발생된 전기적 개방, 단락을 일으키는 결함에 대한 분석을 SEM(Scanning Electron Microscopy)을 이용하여 관찰하였다. electromigration에 의한 결함은 surface extrusion인 hillock과 depletion region에서 형성된 crack(void)의 형태가 대표적인 결함들로 나타나고 있음을 알 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 결과 및 고찰

4. 결론

감사의 글

참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001260938