간섭 현미경을 이용한 마이크로 물체의 6 자유도 운동측정 및 제어

김정현

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김정현 (경성대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집(하)

발행연도: 2010.11

수록면: 577 - 578 (2page)

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김정현

소속기관 한동대학교

주요연구분야 사회과학 > 법학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 1%

논문수 206 이용수 25,507

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-555-003819124

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