RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 AlN 박막의 증착 특성

송종한 ,  전명표 ,  최덕균

전기전자재료학회논문지

2012 .01

RF 스퍼터링을 이용한 AlN 박막의 증착특성에 관한 연구

이민건 ,  장동훈 ,  강성준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 Si 기판상의 AlN 박막의 제조

조찬섭 ,  김형표

반도체및디스플레이장비학회지

2004 .01

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성

진덕용 ,  최대규 ,  이창엽

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

저온공정을 이용한 AlN 박막의 우선배향성과 모폴로지에 관한 연구

오수영 ,  이태용 ,  강현일 외 3명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

RF 마그네트론 스퍼터링 공정 조건에 따른 AlN 박막의 배향성, 표면 거칠기 및 압전 특성에 관한 연구

방정호 ,  장동훈 ,  강성준 외 2명

전자공학회논문지-SD

2006 .04

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 AlN 박막제조 및 유압 감지 특성

석혜원 ,  김세기 ,  강양구 외 3명

전기전자재료학회논문지

2014 .01

Thin film structure of aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering

최대한 ,  장호성 ,  최비공 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 $RuO_2$ 박막의 특성분석

조호진 ,  홍석경 ,  조해석 외 2명

한국재료학회지

1995 .01

고주파 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO박막의 증착변수와 열처리온도에 따른 c축 배향성 연구

李鍾德 ,  高相春 ,  宋埈泰

전기학회논문지

1996 .06

RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 ZnO 박막의 배향성에 관한 TEM연구

김정태 ,  이정용

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF 마그네트론 스퍼터링 증착 압력변화에 따른 SnS 박막의 구조적, 광학적 특성 연구

손승익 ,  신동혁 ,  김서한 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가

조상현 ,  이재근 ,  이성호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 FeS₂ 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 RF 파워의 영향

신동혁 ,  김준아 ,  안태현 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2018 .11

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링 법을 이용한AlN/SiC 구조의 제작 및 특성

김용성 ,  김광호

전기전자재료학회논문지

2005 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조한 투명 전극용 ZnO 박막 증착에 관한 연구

김진용 ,  이용의 ,  조해석 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

금속 PCB용 절연막으로 RF-Magnetron Sputtering 방법으로 제작된 AlN 후막의 특성

박정식 ,  장지원 ,  김동영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2010 .06

금속 PCB용 절연막으로 RF-Magnetron Sputtering 방법으로 제작된 AlN 후막의 특성

박정식 ,  장지원 ,  김동영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2010 .06

RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 MgO 박막의 특성에 관한 연구

정연우 ,  윤차근 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .11