나노급 CMOSFET을 위한 SOI기판에 도핑된 B11을 이용한니켈-실리사이드의 열안정성 개선

정순연 ,  왕진석 ,  김영철 외 6명

전기전자재료학회논문지

2006 .01

나노급 CMOSFET을 위한 Boron Cluster(B18H22)가 이온 주입된(SOI 및 Bulk)기판에 Ni-V합금을 이용한 Ni-silicide의열안정성 개선

이세광 ,  이원재 ,  장잉잉 외 5명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

희토류 금속을 이용한 니켈 실리사이드의 전기 및 물리적 특성

이원재 ,  김도우 ,  김용진 외 2명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

티타늄샐리사이드 공정을 이용한 0.1㎛ CMOSFET의 전기적특성 개선

엄금용 ,  최성진 ,  조재영 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

표면 채널형 0.1μm CMOSFET 소자 제작 ( Fabrication of Surface Channel 0.1μm CMOSFET )

권혁만 ,  박병국 ,  이종덕

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

표면 채널형 0.1㎛ CMOSFET 소자 제작

권혁만 ,  박병국 ,  이종덕

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Ni-Silicide 형성 후 후속공정 열처리에 의한 Abnormal Oxidation 현상을 As-doping된 Bulk와 SOI에서 비교 연구

정순연 ,  이원재 ,  장잉잉 외 5명

대한전자공학회 학술대회

2006 .11

Study of Thermal Stability of Ni Silicide using Ni-V Alloy

Zhun Zhong ,  Soon-Young Oh ,  Won-Jae Lee 외 7명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2008 .01

N-type 기판에서 PAI에 의한 Nickel-Silicide의 열안정성 개선

윤장근 ,  지희환 ,  오순영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

니켈 실리사이드의 열안정성에 대한 실리카 상부막과 코발트 중간막의 영향

한길진 ,  조유정 ,  김영철 외 4명

반도체및디스플레이장비학회지

2005 .01

Formation Temperature Dependence of Thermal Stability of Nickel Silicide with Ni-V Alloy for Nanoscale MOSFETs

A. Tuya ,  S. Y. Oh ,  J. G. Yun 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2005 .11

니켈 코발트 합금조성에 따른 복합실리사이드의 물성 연구

김상엽 ,  송오성

한국재료학회지

2007 .01

게이트를 상정한 니켈 실리사이드 박막의 물성과 미세구조 변화

정영순 ,  송오성 ,  김상엽 외 2명

한국재료학회지

2005 .01

니켈실리사이드의 색차분석

정영순 ,  송오성 ,  김득중 외 2명

한국표면공학회지

2005 .02

Stress Dependence of Thermal Stability of Nickel Silicide forNano MOSFETs

Ying-Ying Zhang ,  Won-Jae Lee ,  Zhun Zhong 외 6명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2007 .01

저온에서 형성된 니켈실리사이드의 적외선 흡수 특성

한정조 ,  송오성 ,  최용윤

한국재료학회지

2009 .01

Ni/Co/Ni를 적용한 Ni germano-silicide의 열 안정성 개선

황빈봉 ,  지희환 ,  오순영 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

100㎚ 이하의 CMOS 소자를 위한 Ni Silicide Technology

이헌진 ,  지희환 ,  배미숙 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

나노급 CMOSFET을 위한 니켈-코발트 합금을 이용한니켈-실리사이드의 열안정성 개선

박기영 ,  정순연 ,  한인식 외 6명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

Dual-Gate Surface Channel 0.1㎛ CMOSFETs

Hyouk Man Kwon ,  Yeong-Taek Lee ,  Jong Duk Lee 외 2명

Journal of Electrical Engineering and information Science

1998 .04