RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

박막 태양전지용 투명 전극을 위한 Ga 도핑된 ZnO의 RF 전력에 따른 구조 및 전기 특성 변화

손창식

한국재료학회지

2011 .01

Effect of Sputtering Parameters on The Luminescent Properties of ZnO:Er Thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering

송현돈 ,  김영진

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명반도체 특성

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

RF Sputter를 이용한 ZnO:Al 투명전도막 형성 및 후열처리 온도 변화에 따른 특성 분석

최원석 ,  박정은 ,  박정훈 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

RF마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO : AI투명도전막의 제조 및 특성 ( Fabrication of ZnO : Al Transparent Conductive Film by RF Magnetron Sputtering and Its Properties )

이형기 ,  마대영 ,  박기철

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

RF스퍼터링법으로 성장시킨 n-ZnO 박막과 n-ZnO/p-GaN 이종접합 LED의 특성

신동휘 ,  변창섭 ,  김선태

한국재료학회지

2013 .01

RF-Sputtering 법을 이용한 ZnO:Al 박막의 후 열처리에 따른 특성 변화

이재형 ,  이동진

전기전자재료학회논문지

2008 .01

RF Magnetron Sputter로 증착한 ZnO 압전변환기의 구조 및 음향특성에 관한 연구

이종덕 ,  고상춘 ,  송준태

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

ZnO/Al/ZnO 구조의 투명전극 적용성 연구

최두호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

H₂/Ar분위기에서 제조한 투명전극용 ZnO:Al 박막의 특성

탁성주 ,  이정섭 ,  김원목 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2006 .06

PLD와 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 SAW 필터용 ZnO 박막의 특성 연구

이승환 ,  유윤식

전기전자재료학회논문지

2012 .01

Optical properties of the Al:ZnO transparent conducting oxide films prepared by DC/RF Magnetron Sputtering Method

이붕주 ,  신백균 ,  남광우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Al:ZnO 투명전도성 산화막의 광학적 특성

이붕주 ,  신백균 ,  남광우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

RF Sputter 방법으로 제조한 투명전도막 ZnO 특성

최병호

한국재료학회지

1992 .01

Undoped ZnO 박막에 Ampoule-tube 방법을 이용한 P와 As의 확산과 p형 ZnO 박막의 전기적 특성

소순진 ,  박춘배 ,  왕민성

전기전자재료학회논문지

2005 .01

플라스틱 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성에 미치는 스퍼터 압력 효과

이재형

전기전자재료학회논문지

2009 .01