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한국신재생에너지학회 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 한국신재생에너지학회 2006년도 춘계학술대회
발행연도
2006.6
수록면
162 - 165 (4page)

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AZO (ZnO:Al) were fabricated by RF magnetron sputtering In H₂/Ar(5%;H₂) atmosphere, and structural, electrical and optical properties were investigated. The substrate temperatures were varied at RT, 100?C,;150?C and200?C. The resistivity of the films grown in H₂/Ar(5%;H₂) were reduced from 7.67{times}10^{-4}{Omega};cm to 5.95{times}10^{-4}{Omega};cm comparing that Ar (100%) and the transmittance of the ZnO:Al films in the visible range was 85%.
#투명전극 #rf 마그네트론 스퍼터링 #수소분위기 #ZnO(Zinc Oxide) #TCO #rf magnetron sputtering #H₂ atmosphere

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