반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

수용성 암모니아계를 이용한 실리콘 이방성 식각 ( Anisotropic Etching of Silicon with Aqueous Ammonia )

박진성 ,  최영규 ,  정귀상

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

높은 종횡비를 갖는 구조물의 제작을 위한 ( 110 ) Silicon 이방성 습식 식각에 관한 연구 ( Anisotropic Bulk Etching of ( 110 ) silicon for Fabrication of Micro Structure with High Aspect Ratios )

김성혁 ,  이상훈 ,  임형택 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석

李熙德 ,  金載官 ,  鄭訓周 외 1명

전기학회논문지

1996 .10

반도체 식각 공정모니터링 시스템 개발

박정우 ,  이효익 ,  이홍렬 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

2012 .11

( 110 ) 실리콘의 비등방성 부식에 대한 고찰 ( A Study on the Anisotropic Etching of ( 110 ) Silicon )

김진형 ,  김종오 ,  최연익

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )

김재관 ,  이희덕 ,  한철희

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

KOH 이방성 실리콘 식각용액 중에서 UBM의 보호 방법

이상환 ,  주관종 ,  문종태 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Anisotropic Etching Property on Porous Silicon Formation

유인식 ,  박기율 ,  심준환 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Cl/HBr/O 고밀도 플라즈마에서 비정질 실리콘 게이트 식각공정 특성

이원규

화학공학

2009 .01

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

TMAH/AP 용액의 실리콘 이방성 식각특성 및 다이아프램 제작에 대한 연구

윤의중 ,  김좌연 ,  이태범 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

반도체 제조용 식각기술

한국발명진흥회

발명특허

2005 .01

인공 신경망을 이용한 반도체 식각 공정 제어에 관한 연구

최문규 ,  김훈모 ,  윤건상

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .11