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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술발표회 논문집 (부산/경남지부) 제5권 2호
발행연도
1996.1
수록면
41 - 45 (4page)

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1997

다이어프램 두께제어를 위한 TMAH / IPA / Pyrazine 수용액에서 전기화학적 식각정지법에 관한 연구 ( A Study on Electrochemical Etch-Stop in Aqueous TMAH / IPA / Pyrazine Solution for Diaphragm Thickness Control )
박진성 ,  정귀상 대한전자공학회 학술대회 1997.01 학술대회자료
Pyrazine에 의한 TMAH / IPA의 이방성 식각특성 개선 ( Improvements of TMAH / IPA Anisotropic Etching Characteristics by Pyrazine )
박진성 ,  최영규 ,  정귀상 대한전자공학회 학술대회 1997.01 학술대회자료

1996

수용성 암모니아계를 이용한 실리콘 이방성 식각 ( Anisotropic Etching of Silicon with Aqueous Ammonia )
박진성 ,  최영규 ,  정귀상 대한전자공학회 학술대회 1996.01 학술대회자료

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