ECR CVD를 이용한 SiO₂ 박막 특성에 관한 연구

윤석규 ,  강문상 ,  김재영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

A Study on the C-V Voltage Shift of SiO2 Films Prepared By ECR CVD

이현 ,  윤석규 ,  강문상 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

ECR 플라즈마 방법에 SiO₂ 박막 제조에 관한 연구

이현 ,  강문상 ,  구용서 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

ECR 플라즈마 방법에 의한 SiO2 박막 제조에 관한 연구 ( A Study on the Fabrication of SiO2 Films by ECR Plasma Method )

이현 ,  강문상 ,  구용서 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성

강문상 ,  김재영 ,  전법주 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성 ( The Deposition Condition and Optical Characteristics of A-Si : H Films Deposited By ECR CVD )

강문상 ,  김재영 ,  전법주 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Laser CVD SiO₂막의 제특성

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Laser CVD SiO2 막의 제특성 ( Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

ECR 플라즈마 CVD 방법을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 증착과 광학적 특성

김용일 ,  이진엽 ,  강문상 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

Laser CVD SiO2 막의 절연파괴특성 ( Breakdown Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

Laser CVD SiO₂ 막의 절연파괴특성

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

ECR CVD 방법에 의한 Fluorinated Silicon Oxide의 증착특성 연구

장원익 ,  강승열 ,  백종태

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

레이져 CVD에 의한 SiO₂막의 형성기구 모델링에 관한 연구

류지호 ,  소황영 ,  김영훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

Laser CVD에 의한 SiO₂박막 콘덴서의 시작과 그 특성

홍성훈 ,  조태훈 ,  유환성 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

ECR-PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 증착시 형성되는 $SiO_2$에 관한 연구

안성덕 ,  김일 ,  김종석 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

공정 Simulation에 의한 Laser CVD SiO₂막 형성 기구 규명에 관한 연구

신상우 ,  이상권 ,  김태훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

새로운 X 선 마스트 기판재료로서 ECR plasma CVD를 이용한 carbon nitride 재료의 개발

강정호 ,  이승윤 ,  임승택 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

ECR CVD를 이용한 x-ray lithography membrane용 SiC의 증착

이승윤 ,  송기창 ,  이규한 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01