Deposition of Low Stress , High Transmittance SiC as an X-Ray Mask Membrane Using ECR Plasma CVD

이승윤 ,  송기창 ,  전영삼 외 8명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성 ( The Deposition Condition and Optical Characteristics of A-Si : H Films Deposited By ECR CVD )

강문상 ,  김재영 ,  전법주 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성

강문상 ,  김재영 ,  전법주 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

High-Transmittance SiC Membrane Prepared by ECR Plasma CVD in Combination with Rapid Thermal Annealing

Ki Chang Song ,  Don Hee Lee ,  Young Sam Jeon 외 7명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

ECR CVD를 이용한 SiO₂ 박막 특성에 관한 연구

윤석규 ,  강문상 ,  김재영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

ECR CVD를 이용한 SiO2 박막 특성에 관한 연구 ( A Study on The Electrical Characteristics of SiO2 Prepared By ECR CVD )

윤석규 ,  강문상 ,  김재영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

ECR 플라즈마 CVD 방법을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 증착과 광학적 특성

김용일 ,  이진엽 ,  강문상 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

ECR CVD 방법에 의한 Fluorinated Silicon Oxide의 증착특성 연구

장원익 ,  강승열 ,  백종태

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

새로운 X 선 마스트 기판재료로서 ECR plasma CVD를 이용한 carbon nitride 재료의 개발

강정호 ,  이승윤 ,  임승택 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

증착변수가 SiC 화학증착에 미치는 영향

소명기 ,  남인탁

산업기술연구 : 강원대학교 산업기술연구소

1984 .01

X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

A Study on the C-V Voltage Shift of SiO2 Films Prepared By ECR CVD

이현 ,  윤석규 ,  강문상 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

ICP 방법으로 증착한 SiC 박막의 성장 및 특성 고찰

김동진 ,  길태현 ,  황성수 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

화학기상증착조건이 SiC/C계 FGM증착에 미치는 영향 : I. SiC/C 증착에 관한 연구

강병윤 ,  김유택 ,  오근호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

X-Ray Lithography With High Power Laser

Hong Jin Kong

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화박막 증착

송선규 ,  장홍영

한국표면공학회지

1990 .12

ECR 상온증착법에 의한 구리 금속막 코팅

고형덕 ,  변동진 ,  이중기 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01