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( 110 ) 실리콘의 비등방성 부식에 대한 고찰 ( A Study on the Anisotropic Etching of ( 110 ) Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
Nature of The Silicon and Silicon Dioxide Surfaces During Plasma Etching with Fluorocarbon Containing Discharges
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )
대한전자공학회 학술대회
1996 .07
다공질 실리콘 식각법을 이용한 실리콘 미세가공기술 ( Silicon Micromachining Technique Using Porous Silicon Etching Method )
전자공학회논문지-A
1994 .11
실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석
전기학회논문지
1996 .10
실리콘 Membrane 구조 형성을 위한 Wet Etching에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2001 .06
단결정 실리콘의 이방성 식각특성
대한전자공학회 학술대회
1997 .06
단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1997 .07
폐슬러지 실리콘을 이용한 마이크론 크기의 이산화 실리콘 구형입자 제조
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2004 .01
Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching
대한전자공학회 학술대회
1985 .06
Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
Effects of N₂addition on chemical etching of silicon nitride layers in F₂/Ar/N₂remote plasma processing
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
( 100 ) 실리콘의 비등방성 부식에 대한 모서리 하부부식과 Misorientation의 영향 ( Influence of the Undercutting and Misorientation on Anisotropic Etching of ( 100 ) Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
저에너지의 Ar 중성빔을 이용한 Silicon의 Atomic Layer Etching
한국재료학회지
2006 .01
전해환원공정에서 실리콘재료의 부식거동
한국방사성폐기물학회 학술대회
2009 .01
LPCVD법으로 제작한 이산화 실리콘 막의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of Silicon Dioxide Film Fabricated with LPCVD )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
우리나라 이산화탄소 배출량이 전지구적 규모의 이산화탄소 농도에 미치는 영향
대한환경공학회 학술발표논문집
1993 .12
에칭시스템에서 요동각 변화에 따른 에칭특성 시뮬레이션
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .04
Thermal Analysis of a Silicon Wafer during Plasma Etching
Heat Transfer Conference
1998 .08
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