( 110 ) 실리콘의 비등방성 부식에 대한 고찰 ( A Study on the Anisotropic Etching of ( 110 ) Silicon )

김진형 ,  김종오 ,  최연익

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Nature of The Silicon and Silicon Dioxide Surfaces During Plasma Etching with Fluorocarbon Containing Discharges

E ,  ay S. Aydil ,  Denise C. Ma 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )

김재관 ,  이희덕 ,  한철희

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

다공질 실리콘 식각법을 이용한 실리콘 미세가공기술 ( Silicon Micromachining Technique Using Porous Silicon Etching Method )

조찬섭 ,  심준환 ,  이종현

전자공학회논문지-A

1994 .11

실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석

李熙德 ,  金載官 ,  鄭訓周 외 1명

전기학회논문지

1996 .10

실리콘 Membrane 구조 형성을 위한 Wet Etching에 관한 연구

김동수 ,  정원채

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

폐슬러지 실리콘을 이용한 마이크론 크기의 이산화 실리콘 구형입자 제조

한길진 ,  김영철 ,  장영철 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon

C. H. Han ,  E. S. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Effects of N₂addition on chemical etching of silicon nitride layers in F₂/Ar/N₂remote plasma processing

S. M. Pa ,  k ,  H. W. Kim 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

( 100 ) 실리콘의 비등방성 부식에 대한 모서리 하부부식과 Misorientation의 영향 ( Influence of the Undercutting and Misorientation on Anisotropic Etching of ( 100 ) Silicon )

김종오 ,  최연익

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

저에너지의 Ar 중성빔을 이용한 Silicon의 Atomic Layer Etching

오창권 ,  박상덕 ,  염근영

한국재료학회지

2006 .01

전해환원공정에서 실리콘재료의 부식거동

조수행 ,  이상훈 ,  정명수 외 4명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2009 .01

LPCVD법으로 제작한 이산화 실리콘 막의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of Silicon Dioxide Film Fabricated with LPCVD )

윤형섭 ,  이진희 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

우리나라 이산화탄소 배출량이 전지구적 규모의 이산화탄소 농도에 미치는 영향

박일수 ,  최기덕 ,  홍율기 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

1993 .12

에칭시스템에서 요동각 변화에 따른 에칭특성 시뮬레이션

정흥철 ,  김영진 ,  정지원 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .04

Thermal Analysis of a Silicon Wafer during Plasma Etching

Y. A. Lin ,  Chin Pan

Heat Transfer Conference

1998 .08