RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )

황정태 ,  정창영 ,  정관수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

RP-Cvd로 제작한 도핑된 미세결정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of Doped Microcrystalline Si Films Prepared by RP-CVD )

정문연 ,  김성철 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

RP-CVD로 제작된 고전계 효과 이동도 비정질 실리콘 박막 트랜지스터 ( High Mobility a-Si:H Thin Film Transistor Prepared by RP-CVD )

정문연 ,  유순성 ,  장진

전자공학회논문지-A

1992 .06

RP-CVD로 제작한 MIS 구조에서의 비정질 실리콘나이트라이드의 특성 ( Characterization of Amorphous Silicon Nitride Films in MIS Structures Prepared By RP-CVD )

정문연 ,  류순성 ,  김광남 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

Laser CVD SiO2 막의 제특성 ( Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

Laser CVD SiO₂막의 제특성

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

RP SYSTEM의 활용

CEP TECH

한국CDE학회 학술발표회 논문집

2006 .02

RP-CVD로 제작한 도핑된 미세결정질 실리콘 박막의 특성

정문연 ,  김성철 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

RP Report

안성훈

한국CDE학회지

2005 .08

RP를 이용한 쾌속조형물 제작공정의 정확성 평가

박상만 ,  박인춘 ,  이성수

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .11

레이져 CVD에 의한 SiO₂막의 형성기구 모델링에 관한 연구

류지호 ,  소황영 ,  김영훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

Laser CVD SiO2 막의 절연파괴특성 ( Breakdown Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

Laser CVD SiO₂ 막의 절연파괴특성

권봉재 ,  박종욱 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

RP 공정의 정밀도 비교 평가

변홍석 ,  신행재 ,  이관행

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2000 .10

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Laser CVD에 의한 SiO₂박막 콘덴서의 시작과 그 특성

홍성훈 ,  조태훈 ,  유환성 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

새로운 원 근사방법을 적용한 RP Part 제작에 관한 연구

홍민성 ,  신근하 ,  박시준 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

1999 .05

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12