Application of Inductively Coupled Plasma to PVD and CVD

Jung-Joong Lee

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Jung-Joong Lee (Seoul National University)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2015년도 한국표면공학회 추계학술대회 논문집

발행연도: 2015.11

수록면: 43 - 73 (31page)

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유도결합 플라즈마(inductively coupled plasma: ICP)를 이용한 물리 및 화학 증착법으로 제작된 박막 재료는 우수한 기계적, 화학적, 물리적 성질 때문에 자동차 부품이나 공구재료의 내마모, 저마찰 경질코팅, 그리고 디스플레이용 코팅 뿐만 아니라 수소 연료전지의 분리막 성능 향상을 위한 코팅, 그리고 기판에 아주 균일한 크기의 나노 분말을 형성 시키는 곳에도 응용을 할 수 있음을 여러 사례를 중심으로 살펴 본다.

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이정중

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 자연과학 > 물리학

논문수 60 이용수 2,022

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	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
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