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Wafer Plasma Bevel Cleaning 장비용 핵심부품 세정기술
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
다중 분리 처리 방식의 로봇 기반 Wafer Cleaning Bath 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .06
Fabrication and Performance Tests of an Ultrasonic Cleaning System for Solar-cell Wafers
한국생산제조학회지
2019 .08
WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구
한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집
2015 .01
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론
대한산업공학회지
2015 .06
Numerical Study on Contamination Effect Induced by Personnel in Clean-room
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2023 .11
다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 클리닝 시스템 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .12
Design and Development of Multi-Cleaning Robots
Proceedings of The International Workshop on Future Technology
2017 .05
웨이퍼 클리닝 및 표면검사 자동화 장비 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .06
웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
A Study on the Prediction of Pollutant Concentration in Clean Room for Energy-Efficient Ventilating System
AFORE
2021 .10
진공흡착 로봇시스템을 이용한 웨이퍼 클리닝 자동화 장비 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .12
반도체 습식 세정 장비에서 유동 현상 – 시뮬레이션을 중심으로
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2024 .05
레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지
대한산업공학회지
2018 .08
반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화
한국가시화정보학회지
2015 .12
친환경 세정액을 이용한 반도체 후공정용 스페이스 웨이퍼 세정특성 연구
한국에너지기후변화학회 학술대회
2023 .05
Flow analysis for fan-in/fan-out wafer level package coating process
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
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