합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지

박재선 ,  김준홍 ,  김형석 외 2명

대한산업공학회지

2018 .08

웨이퍼 품질 분류를 위한 결함 맵 노이즈 제거 알고리즘 개발

이석희 ,  이상원

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .12

딥러닝을 이용한 웨이퍼 빈 맵 신규 패턴 검출

백승호 ,  이창현 ,  김성범

대한산업공학회지

2020 .06

Semiconductor Wafer Defect Classification Using Support Vector Machine with Weighted Dynamic Time Warping Kernel Function

Young-Seon Jeong

Industrial Engineering & Management Systems

2017 .09

액티브 러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 신규 불량 패턴 검출

황성진 ,  김성범

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2021 .11

Multi-class Data Description 기반의 웨이퍼 빈 맵 불량 패턴 분류 및 신규 불량 패턴 검출방법

송창용 ,  정영선 ,  김병훈

대한산업공학회지

2022 .06

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

액티브 러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 신규 불량 패턴 검출

황성진 ,  백인성 ,  김성범

대한산업공학회지

2022 .04

Explainable wafer bin map classification via hierarchical attention networks

이창현 ,  도형록 ,  김성범

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2019 .11

Wafer Map Failure Pattern Classification using Geometrical Transformation Invariant Convolutional Neural Network

Il Joo Jeong ,  Seungchul Lee

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .04

이미지 데이터 기반 제품 분류 및 결함 검출

이혜진 ,  육도경 ,  손정우

한국소음진동공학회논문집

2022 .12

Wafer Bin Map 분류를 위한 성능 향상을 위한 데이터 증강 방법 연구

박상우 ,  유철우

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .06

FCDD 기반 웨이퍼 빈 맵 상의 결함패턴 탐지

장승준 ,  배석주

산업경영시스템학회지

2023 .06

Deep Generative Convolutional Variational Autoencoder for Identification of Wafer Map

Ho Sun Shon ,  E ,  denebileg Batbaata 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

2021 .02

변분 오토인코더와 세그넷 기반 웨이퍼 불량패턴 탐지

이창현 ,  김성범

대한산업공학회지

2019 .04

Grad-CAM을 활용한 EfficientNetV2 기반 웨이퍼 맵 불량분석 연구

이한성 ,  조현종

전기학회논문지

2023 .04

다중 스테이지 공정 센서 시그널 기반 웨이퍼 불량 분류 및 진단 네트워크

최종원 ,  김성범

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2023 .11

실리콘 웨이퍼 마이크로크랙을 위한 대표적 분류 기술의 성능 평가에 관한 연구

김상연 ,  김경범

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

머신 러닝 모델을 활용한 웨이퍼 불량 탐지 및 테스트 항목 효율화

김호영 ,  강필성

대한산업공학회지

2022 .12

맵패턴지수를 이용한 반도체 품질 관리

안정일 ,  안태호

한국경영공학회지

2017 .01