메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
만지흠 (부산대학교) 이우재 (부산대학교) 장경수 (서영) 최현진 (부산테크노파크) 권세훈 (부산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제50권 제5호
발행연도
2017.10
수록면
339 - 344 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
Highly corrosion resistance performance of CrAlSiN coatings were obtained by applying ultrathin Al₂O₃ thin films using atomic layer deposition (ALD) method. CrAlSiN coatings were prepared on Cr adhesion layer/SUS304 substrates by a hybrid coating system of arc ion plating and high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) method. And, ultrathin Al₂O₃ passivation layer was deposited on the CrAlSiN/Cr adhesion layer/SUS304 sample to protect CrAlSiN coatings by encapsulating the whole surface defects of coating using ALD. Here, the high-angle annular dark-field scanning transmission electron microscopy (HAADF-STEM) and energy dispersive X-ray spectrometry (EDX) analysis revealed that the ALD Al₂O₃ thin films uniformly covered the inner and outer surface of CrAlSiN coatings. Also, the potentiodynamic and potentiostatic polarization test revealed that the corrosion protection properties of CrAlSiN coatings/Cr/SUS304 sample was greatly improved by ALD encapsulation with 50 nm-thick Al₂O₃ thin films, which implies that ALD-Al₂O₃ passivation layer can be used as an effect barrier layer of corrosion.
#Atomic layer deposition #Corrosion #CrAlSiN hard coatings #Passivation layer

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
S. Ulrich, H. Holleck, J. Ye, H. Leiste, R. Loos, M. Stuber, P. Pesch, S. Sattel, Influence of low energy ion implantation on mechanical properties of magnetron sputtered metastable (Cr,Al)N thin films, Thin Sol. Films 437 (2003) 164-169. J. H. Park, W. S. Chung, Y. R. Cho, K. H. Kim, Synthesis and mechanical properties of Cr?Si?N coatings deposited by a hybrid system of arc ion plating and sputtering techniques, Surf. Coat. Technol 188 (2004) 425-430. E. Martinez, R. Sanjines, A. Karimi, J. Esteve, F. Levy, Mechanical properties of nanocomposite and multilayered Cr?Si?N sputtered thin films, Suf. Coat. Technol 180 (2004) 570-574. D. Y. Wang, Y. W. Li, W. Y. Ho, Deposition of high quality (Ti,Al)N hard coatings by vacuum arc evaporation process, Surf. Coat. Technol 114 (1999) 109-113. S. Balasubramanian, A. Ramadoss, A. Kobayashi, J. Muthirulandi, Nanocomposite Ti?Si?N coatings deposited by reactive dc magnetron sputtering for biomedical applications, J. Am. Ceram. Soc 95 (2012) 2746-2752.

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Fabrication of Plasma Electrolytic Oxidation Coatings on Magnesium AZ91D Casting Alloys
Sung-Hyung Lee ,  Hitoshi Yashi ,  o 외 2명 한국표면공학회지 2017 .12
Reactive Ion Etching Process Integration on Monocrystalline Silicon Solar Cell for Industrial Production
Chang Youn Yoo ,  Vichai Meemongkolkiat ,  Keunkee Hong 외 3명 Current Photovoltaic Research 2017 .12
Effect of Nano-Al₂O₃ Additive on Manganese Phosphate Composite Conversion Coating of Carbon Steel
Young-Tai Noh ,  Young-Min Byoun ,  Ho-Young Kim 외 4명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2017 .11
Development of Flow Type Polysaccharide Sensor Using TiO₂ Ink
Kensuke Katagishi ,  Chiaki Te ,  ashima 외 10명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2017 .11

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-581-001463159