지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.2
- 수록면
- 290 - 290 (1page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
2018
Effects of Redeposition on Low-Temperature Plasma Enhanced-Atomic Layer Deposition of Silicon Nitride Thin films for the Encapsulation layer of flexible OLEDs
김지민
,
김성민
,
김형준
한국진공학회 학술발표회초록집
2018.02
학술대회자료
Low-temperature plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride thin films for encapsulation of flexible OLEDs
김지민
2018.01
학위논문
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Encapsulation Layer by Atomic Layer Deposition and Molecular Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
-
Ultra-enhanced Encapsulation film for electronic devices using by Atomic Layer Infiltration
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
Thin Film Encapsulation with Organic-Inorganic Nano Laminate using Molecular Layer Deposition and Atomic Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
Plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride using a VHF (162 MHz) plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
-
Reactions between silicon precursors and surface sites during atomic layer deposition of silicon nitride
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
Ultra-enhanced Encapsulation film for electronic devices using by Atomic Layer Infiltration
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
-
Plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride films using a VHF (162 ㎒) multi-tile push-pull plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
A new sputtering method : Neutral beam assisted sputtering system to form high quality gas barriers for OLED applications
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
-
A Brief Review of Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Si₃N₄
Applied Science and Convergence Technology
2019 .09
-
저온 선형 PECVD를 이용한 OLED용 Encapsulation 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
Plasma-enhanced atomic layer deposition of silicon nitride thin films using bis(diethylamino)silane
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
Low Temperature PECVD process for SiNx/Organic Multilayer Thin Film Encapsulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
-
Prospects of OLED Technology
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
-
초고주파 (162 MHz) 다중 분할 전극 플라즈마 소스를 이용한 silicon nitride PEALD 공정연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
Pixelized Thin Film Encapsulations for Stretchable OLEDs
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
Effects on the Fluorescent OLED device by Alq₃ doped Hole Transport Layer
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
-
Characteristic analysis of HfO2 thin films deposited at low-temperature using direct plasma-enhanced atomic layer deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
-
고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 저수소 함량의 Silicon nitride (SiNx) 박막증착 및 PEALD 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
Low Temperature PECVD for SiOx Thin Film Encapsulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
Pure Cobalt Thin Film by using Very High frequency (60MHz) Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
Thin Film Encapsulation Constituted with Hybrid Material for Flexible OLED Device
권혁진
,
박찬언
,
김세현
외 1명
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2018
.10
Density Functional Theory Study of Silicon Chlorides for Atomic Layer Deposition of Silicon Nitride Thin Films
Luchana L. Yusup
,
Sung-Joo Woo
,
Jae-Min Pa
외 2명
한국진공학회 학술발표회초록집
2014
.02
간호대학생의 MBTI 성격유형에 따른 스트레스 정도, 스트레스 대처방식 및 학교적응
이영란
,
김선희
,
주민선
한국간호교육학회지
2013
.05
원자층 증착법으로 형성된 실리콘 산화막의 특성
천민호
,
나사균
,
이연승
외 1명
한국진공학회 학술발표회초록집
2005
.08
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-420-001781489