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Plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride using a VHF (162 MHz) plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Reactions between silicon precursors and surface sites during atomic layer deposition of silicon nitride
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride films using a VHF (162 ㎒) multi-tile push-pull plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Characteristic analysis of HfO2 thin films deposited at low-temperature using direct plasma-enhanced atomic layer deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Correlation Analysis of Plasma Properties and Film Properties using Optical Emission Spectroscopy in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes of Silicon Nitride
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Correlation Study between Optical Emission Spectroscopy Signals and Silicon Nitride Film Properties in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Prediction of Silicon Nitride Film Properties by the Analysis of Optical Emission Spectroscopy Signals in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
초고주파 (162 MHz) 다중 분할 전극 플라즈마 소스를 이용한 silicon nitride PEALD 공정연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
VHF-PECVD for a-Si:H and a-SiN:H Film Deposition
Applied Science and Convergence Technology
2019 .09
Synthesis and Characterization of SnO2 Thin Films Deposited by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Using SnCl4 Precursor and Oxygen Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Correlation Analysis of Plasma Optical Emission Spectra and Silicon Nitride Films Deposited in Inductively Coupled Plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Pure Cobalt Thin Film by using Very High frequency (60MHz) Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Effects of Redeposition on Low-Temperature Plasma Enhanced-Atomic Layer Deposition of Silicon Nitride Thin films for the Encapsulation layer of flexible OLEDs
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
A Brief Review of Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Si₃N₄
Applied Science and Convergence Technology
2019 .09
Formation of Graphene-Seeds on Silicon Nitride Using Chemical Vapor Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Plasma Optical Signal Analysis for SiNx Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 저수소 함량의 Silicon nitride (SiNx) 박막증착 및 PEALD 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Atomic Layer Deposited Metal Thin Films on T-shirts
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Fabrication and Characterization of Organic-Inorganic Hybrid Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
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